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最新消息| 半導體設備零部件行業全梳理 | 2023-12-04 |
| 文章来源：由「百度新聞」平台非商業用途取用"http://www.baidu.com/link?url=U0HoGAYi63Rht8HbF6ayhww84U0zGvhNfvz93RvaqRJ6fWwHhSSqLk-zo1-u8xdgkILVZGFNgHwgAlygKXhK4-o1ngxH2J2SBilr5KgUkQ7" 1.半導體零部件、模組的分類？每個分類國產化的情況？難度的排序？nn零部件分類：nn模組件：分為EFEM（傳送模塊）、傳送腔體、反應腔體，還有部署設備（氣柜、電柜）、清洗組件、冷卻組件（CM）。nn零部件：nn1）金屬件：一般包括鋁錠（純鋁，用作腔體）、不銹鋼（用作骨架）、鋁合金為原料制作的產品，目前國產化率最高。nn2）非金屬件：陶瓷件、石英件、石墨。nn3）氣柜：主要用世偉洛克的產品；其中的氣體管路等配件主要用的SMC、VAT的產品。氣柜產品有的是廠家自己制作的，有的是委托下游廠商制作的，例如富士金、VAT、UCT。nn4）儀表類：主要是流量計，目前主要用SMC和日本津市的多一些。nn5）射頻電源：主要用的MKS產品。nn6）閥門：主要用的VAT和SMC，VAT的產品是用的最多的，國內也是用這兩家多一些。但是應材的產品是自己定制的，不采用現有的模塊。nn7）泵：常用的就是德國普旭和愛德華，愛德華用的是最多的。nn8）管路連接：與氣柜連接的管路主要是四家的產品，MKS、VAT、UCT、富士金。nn國產化進度：目前不論是國內還是國外設備廠商都是用的上面這些廠商的產品，很少用國內沒有認證的零部件產品。除了金屬加工件這種常見的產品外，其他的氣體管路、氣柜、儀表、電源、閥門、泵之類的，都是用的國際大品牌。nn難易程度：nn1）非金屬類產品加工是難度最大的，交期最長可能8~10個月。例如石英件、陶瓷件的加工等，可能都是以國外為主。國內的大和熱磁，目前是國內用的最多的。nn2）其次是配置類，基本上都是被國外所壟斷，包括精度高一點的各種流量計，這些東西是被國外壟斷的，交期也非常長，有時還涉及到一些政治因素。nn3）第三是氣柜模組部分。nn4）最后是金屬加工的部分。nn2.模組和金屬加工的生產模式？nn模組部分生產模式：其中EFEM模組，國內用的最多的品牌是日本RORZE的；傳輸模組的部分都是靠設計，通過仿制應材、LAM等產品，之后自己研發一部分，定制產品委外制造；氣柜也根據自己的工藝去設計，當然也會參考一些國外的設計，通過委外廠商（VAT、UCT、富士金等）進行定制。nn3.現在全球有哪些大的企業，國內的情況又是怎么樣？nn（1）機加工部分，金屬加工這一塊基本上都是國內制造的，通過國內一些大的機加工廠，像富創、富士邁、托倫斯、靖江先鋒、晶盛機電等，他們本身業務都是以相關的半導體 關鍵字標籤：ome-top.com |
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